[투자이슈] EUV 공정? EUV 관련 기업, EUV 관련주

[투자이슈] EUV 공정? EUV 관련 기업, EUV 관련주

 

 

■ 반도체 EUV 공정이란?

EUV란 반도체를 만드는 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정을 말한다.

반도체 칩을 생산할 때 웨이퍼(wafer)라는 실리콘 기반의 원판, 즉 둥근 디스크는 감광물질로 코팅이 되고, 스캐너라고 하는 포토공정 설비로 들어가게 된다. 이 설비 안에서 회로 패턴을 새겨 넣기 위해 레이저 광원을 웨이퍼에 투사하는 노광(photolithography) 작업을 진행한다.

이렇게 해서 반도체 칩 안에 현미경으로 봐야 보일 정도로 작고 미세한 회로소자 수십억개를 형성하게 된다. EUV 공정은 이러한 노광 단계를 극자외선 파장을 가진 광원을 활용해 진행하는 것을 말한다.

 

 

■ EUV 기술이 필요한 이유

 

한마디로 간단하게 말하면, 더욱 미세하고 오밀조밀하게 패턴을 새길 수 있기 때문에 더 높은 기술력과 성능의 반도체를 생산할 수 있다.

반도체 칩 제조 분야에선 웨이퍼 위에 극도로 미세한 회로를 새겨 넣는 것이 필수다. 그래야만 트랜지스터와 콘덴서 등 소자들을 지름 300mm의 제한된 웨이퍼 공간에 더 많이 집적하고, 성능과 전력효율 또한 높일 수 있다.

EUV 광원은 기존 공정에 적용 중인 불화아르곤(ArF) 광원보다 파장이 훨씬 짧기 때문에, 더 미세하고 오밀조밀하게 패턴을 새길 수 있다. 새로 나올 EUV 스캐너는 13.5 나노미터 파장의 EUV를 활용하며, 이는 현재 불화아르곤 엑시머 레이저 스캐너가 사용하는 빛 파장과 비교해 10분의 1 미만에 불과하다. 뿐만 아니라 기존엔 미세회로를 만들기 위해 수차례 노광 공정을 반복해야 했지만, EUV 장비는 공정 단계를 줄일 수 있어 생산성도 획기적으로 높일 수 있게 될 전망이다.

 

 

■ EUV 관련 기업, 관련주

EUV 관련 기업으로는 크게는 ASML, 삼성전자, TSMC가 있다. 그리고 우리나라의 관련 기업으로는 에스앤에스텍, 동진세미캠, 경인양행, 원익IPS 등이 있다.

 

1. ASML

네덜란드 회사로 반도체 공정에 필요한 노광장비를 생산하는 회사다. 특히, 한대당 가격이 1500억원을 넘는 EUV 노광장비를 생산해서 삼성전자, 하이닉스, TSMC, 엔비디아, 애플 등에 독점 공급하고 있다. 그래서 '슈퍼을'이라는 별명을 갖고 있다.

ASML이 연간 생산할 수 있는 EUV 장비의 양이 한정적이기 때문에 장비를 얼마나 확보할 수 있느냐가 고성능 반도체 생산량과 직결될 수 있기 때문에 삼성 등 많은 업체들은 ASML의 장비를 확보하려고 경쟁을 하기 때문에 이러한 별명을 가지고 있다. 

삼성전자도 작년 이재용 부회장이 직접 ASML을 방문해 협의를 했을 정도로 아주 중요한 위치를 차지하고 있는 회사이다.

2021년 1월 20일 오늘 지난해 매출 140억 유로(약 18조7000억원), 순이익 36억 유로(약 4조8000억원)를 기록 전년보다 18.6% 증가했고, 순이익은 38.5% 증가했다고 밝혔다. 이는 역대 최대 실적으로 초미세공정 경쟁력 강화에 나선 기업들이 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비를 대거 구매한 덕이다.

 

www.sedaily.com/NewsView/1ZALYUWCOY

이번엔 삼성 찾은 ASML…EUV 장비 투자 논의

 

2. 삼성전자

삼성전자는 2019년 '반도체 비전 2030'을 발표하고 2030년까지 133조원을 투자해 시스템반도체 세계 1위를 달성한다는 계획을 가지고 있고, 공격적인 EUV 설비투자를 진행하고 있다. 메모리반도체 세계 1위에 이어, 비메모리반도체에 대해서도 세계 1위를 하겠다는 의지로 보일 수 있다. 

 

www.newspim.com/news/view/20210104000745

[종합] 이재용 부회장, 새해 첫 일성 "시스템반도체 신화 만들자"

 

3. 에스앤에스택

우리나라 EUV 대장주로 불리는 종목이 바로 에스앤에스택이다. 반도체 및 TFT LCD 생산에 쓰이는, 노광 공정의 핵심 재료인 포토마스크의 원재료로서 패턴이 노광되기 전 마스크인 블랭크 마스크 제조 및 판매를 하고 있으며, 주요 고객사는 삼성전자다.

블랭크 마스크 시장에서 일본이 90%의 점유율을 차지하고 있는 가운데 국내에서는 에스앤에스텍이 독점하다시피 하고 있다. 또한 작년에는 삼성이 직접 에스앤에스택 지분 8%를 확보하는 등 직접 투자를 진행하기도 했을 만큼 삼성과 밀접한 연관성을 가지고 있는 회사이다.

 

 

4. 동진쎄미캠

동진쎄미켐은 EUV 포토레지스트 바로 전 단계인 반도체용 불화아르곤 액침 포토레지스트를 지난 2010년 국내 최초로 개발 생산한 소재 전문 기업이다. 반도체·평판디스플레이 등의 노광공정에 사용되는 감광액과 건설자재 및 자동차 내장재에 주로 사용되는 산업용 기초소재인 발포제 등을 생산·판매하고 있다. 

포토레지스트는 일본 수입 의존도가 매우 높은 품목인데, 우리나라에서 유일하게 동진쎄미켐이 포토레지스트를 국내에서 생산할 수 있는 기업이다. 최근 2021년 올해 1분기 포토레지스트 공장 증설을 확정하고 착공할 예정임을 밝힌바 있다. 계획대로 완공된 후 내년 초 정상 가동에 들어가면 제품 생산량을 기존보다 갑절 이상 확대될 예정이라고 한다.

 

 

5. 경인양행

정밀 화학제품 개발을 선도하는 업체로 40년 이상 섬유·식품·농업·전자제품에 사용하는 염료, 잉크, 정밀 화학제품과 재료를 생산하고 있다. 

EUV와 관련된 포토레지스트도 경인양행의 주요 제품 가운데 하나다. 노광 공정에서 주로 사용하는 핵심소재(ArF, KrF)용 모노머, 폴리머를 비롯해 i 라인 및 g 라인용 포토레지스트도 생산하고 있다. 광개시제 (Photo Initiator)는 포토레지스트의 주요 성분으로 실리콘 기판과 LCD 패널의 미세한 선폭 구현에 사용한다. 

경인양행은 플렉시블 디스플레이의 중요 소재인 투명폴리이미드 필름 제조에 필요한 핵심 로모머를 자체 공정기술로 개발 양산에 성공하기도 했다. 이는 차세대 디스플레이의 핵심소재로 롤러블 디스플레이에 적용된다.

 

동진쎄미켐과 더불어 경인양행은 산자부 선정 반도체 패턴용 공정 소재 제조기술 즉 EUV 관련 소부장 으뜸기업으로 선정되기도 했다.

 

6. 원익IPS

원익IPS는 삼성전자의 비메모리 설비의 모든 공정에 장비를 납품하고 있는 기업이다. 삼성전자 EUV 파운드리 라인, 평택, 시안 등 삼성전자가 투자는 대부분 생산 설비에 전공정 장비를 납품했다.

비메모리 설비 공정 장비업체로 세계 20위 안에 들 정도로 튼튼한 기업으로, 현재 삼성전자 자회사 세메스로부터 디스플레이 사업부분 인수를 검토중이다. 반도체 장비 및 시스템 전문업체인 원익IPS가 삼성전자 자회자인 세메스로부터 디스플레이 사업부문을 인수하게 되면 원익IPS는 명실상부 글로벌 반도체·디스플레이 종합장비회사로 거듭나게 될 전망이다.

 

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비메모리 반도체, 파운드리 분야에 대한 관심이 높아지면서, EUV에 대해 알아보고 싶어, 뉴스, 리포트 등을 살펴보며 정리해 봤습니다. 올해 반도체 슈퍼사이클이 예상되는 만큼 많은 기업들이 그에 대한 기대감으로 주가도 좋은 모습을 보여주고 있네요.

어디까지나 개인적인 공부를 위해 정리한 내용으로 투자 권유가 절대 아닙니다. 참고하셔서 도움이 되시길 바라며, 투자는 언제나 신중하게 결정하시기 바랍니다.

좋은 하루 되세요~